半導(dǎo)體包裝行業(yè)，包括集成電路、分離器件、傳感器和光電子包裝，經(jīng)常使用金屬引線框架。為了提高結(jié)合和塑料密封的可靠性，金屬支架通過(guò)等離子清洗機(jī)處理幾分鐘，以去除表面的有機(jī)物和污染物，增加其可焊性和粘接性。此外，有時(shí)人們會(huì)發(fā)現(xiàn)金屬支架在等離子清洗機(jī)的真空環(huán)境中處理不當(dāng)，容易變色、變黑、嚴(yán)重甚至燒板。是因?yàn)榍粌?nèi)空氣不干凈，殘余空氣中的氧分子被激發(fā)，氧等離子體與金屬表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)化嗎？原因會(huì)是這樣嗎？
等離子清洗機(jī)真空度對(duì)產(chǎn)品清洗和變色效果的影響：

     影響等離子清洗機(jī)真空度的因素有：真空腔漏率、回真空、真空泵速度、工藝氣體進(jìn)口流量。速度較快的真空，表明背壓值較低，說(shuō)明在內(nèi)部的空氣較少，銅支架與空氣中氧等離子體反應(yīng)的機(jī)會(huì)較少；當(dāng)工藝氣體進(jìn)入時(shí)，所形成的等離子體可與銅支架充分反應(yīng)，無(wú)刺激性的工藝氣體可帶走反應(yīng)物，銅支架清洗效果好，不易變色。
等離子清洗機(jī)功率對(duì)產(chǎn)品的清洗效果和色差的影響。
       電漿清洗機(jī)電源功率與其功率密度有關(guān)。電源功率越大，等離子體能量越高，對(duì)產(chǎn)品表面的沖擊力越強(qiáng)；同等功率下，處理的產(chǎn)品數(shù)量越少，單位功率密度越大，清洗效果越好，但可能會(huì)導(dǎo)致能量過(guò)大、板面變色或燒板。
       等離子清洗機(jī)電場(chǎng)分布對(duì)產(chǎn)品清洗效果和變色的影響。電極結(jié)構(gòu)、氣流和金屬制品的放置位置等與電場(chǎng)分布有關(guān)的因素有關(guān)。根據(jù)處理材料、技術(shù)需求、生產(chǎn)能力要求，電極結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)不同的氣體流向形成氣場(chǎng)，影響等離子體的運(yùn)動(dòng)、反應(yīng)、均勻性的產(chǎn)品配置位置影響電場(chǎng)和氣場(chǎng)特性，能量分配不均衡，局部等離子體密度過(guò)大燒板。
        除上述因素外，實(shí)踐證明，等離子清洗機(jī)的處理時(shí)間、電源頻率、載具類(lèi)型等都會(huì)影響產(chǎn)品的處理效果和變色。