等離子清洗機(jī)常見故障及其解決辦法
       1、放空氣體壓力過低
       可能原因：請檢查氣體是否開啟或氣體是否耗盡
       解決措施：如出現(xiàn)此類報警請檢查腔體底部的破真空所用氣路電磁閥是否正常工作，線路有無斷路或短路。
       2 .CDA壓力過低報警（破空氣體壓力低）
       可能原因：此報警為壓縮空氣氣壓不足夠報警，主要出現(xiàn)于配有高真空氣動擋板閥（GDQ）的設(shè)備，出現(xiàn)此報警時需檢查CDA是否正常供氣致設(shè)備端。
       解決措施：確認(rèn)供氣壓力是否過高或過低，減壓表的報警值是否設(shè)定正確。
       檢查電氣線路是否出現(xiàn)斷路或短路。

       3、等離子清洗機(jī)不發(fā)光
       可能原因：1.真空泵是否正常運(yùn)行；2.射頻電源主板燒壞；
       處理措施：1.真空泵是否正常工作，查看真空壓力表值是否達(dá)到正常壓力值；如不能達(dá)到正常壓強(qiáng)，則代表氣路有漏氣需重新檢查氣路是否固定好。
       4.打開設(shè)備右側(cè)面板，檢查射頻電源主板綠色燈在設(shè)備正常運(yùn)行下是否亮，如果不亮，請聯(lián)系售后人員進(jìn)行更換。
       4、真空泵不工作
       可能原因：1.真空泵油不足；2.電機(jī)燒壞；3.真空泵磨損
       處理措施：1.清洗后，添加真空泵油；2.請聯(lián)系我公司客服
       5、清洗效(果)不良
       可能原因：1.等離子功率不夠；2.選用不適合的反應(yīng)氣體
       解決措施：1.調(diào)節(jié)功率旋鈕，提高功率；2.工藝氣體是否匹配合理；3.咨詢我公司客服；
       6、真空泵熱過載保護(hù)，請檢查線路和真空泵故障。
       可能原因：出現(xiàn)此情況請首先觀察系統(tǒng)參數(shù)有無變化，設(shè)備突然斷電會引起系統(tǒng)參數(shù)歸零，導(dǎo)致設(shè)備出現(xiàn)此類報警。
       解決措施：如系統(tǒng)參數(shù)無變化，請確認(rèn)熱繼電器是否自動保護(hù)，按復(fù)位鍵，然后啟動真空發(fā)生系統(tǒng)。如沒有自動保護(hù)，請檢查電氣線路有無斷路或短路情況。檢查導(dǎo)線是否有斷路或短路情況。如無上述異常，請檢查真空泵。
       7、真空泵倒計(時)故障（機(jī)械故障），請檢查真空泵抽空能力，故障排除點擊復(fù)位鍵。
       可能原因：所處理產(chǎn)品有嚴(yán)重滲氣情況，真空倒(計)時時間設(shè)備較短，無法在設(shè)備時間內(nèi)抽到背底真空。
       解決措施：檢查真空門是否關(guān)到位，逐級檢查真空系統(tǒng)中各連接點，看是否有管道連接不良或損壞，真空泵故障，需檢查保養(yǎng)真空泵。
       8、真空計故障報警
       可能原因：真空計故障或損壞，請檢查并更換真空計。
       解決措施：檢查真空計是否損壞，檢查真空計控制線路是否有斷路或短路。
       9.急停未復(fù)位或已按下，請打開急停開關(guān)
       解決措施：檢查急停是否被按下，如沒有此情況，請檢查急停線路。