CRF plasma 等離子清洗機(jī)

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IC封裝、CRF等離子清洗機(jī)技術(shù)在IC封裝中的作用

IC封裝、CRF等離子清洗機(jī)技術(shù)在IC封裝中的作用:
       IC封裝行業(yè)是我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中的第一支柱產(chǎn)業(yè)。考慮到芯片尺寸和反應(yīng)速度的持續(xù)減小,封裝技術(shù)已變成一個核心技術(shù)。質(zhì)量和成本受包裝工藝的影響。將來IC技術(shù)特征尺寸,要求IC封裝技術(shù)向小型化.低成本.個性化.綠色環(huán)保.封裝設(shè)計(jì)盡早協(xié)同發(fā)展。
       真空CRF等離子體清洗機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)已有較成熟的先例。IC半導(dǎo)體的主要生產(chǎn)工藝是在50年代后發(fā)明的,最初是因?yàn)楦鞣N元件和接線都非常精細(xì),所以IC在制程時容易產(chǎn)生灰塵,或是有機(jī)物等污染,極易造成晶片損壞,使其短路,為解決這些工藝過程中出現(xiàn)的問題,在后期制程中引入等離子設(shè)備進(jìn)行預(yù)處理,采用CRF等離子清洗機(jī),可以更好地保護(hù)我們的產(chǎn)品,在不破壞晶圓表面性能的前提下,更好地利用等離子設(shè)備除去表面有機(jī)物、雜質(zhì)等。

等離子清洗機(jī)

       集成電路封裝起到安裝.固定.密封.保護(hù)晶片并提高電熱性能的作用。另外,它通過晶片上的觸點(diǎn)連接到封裝外殼的插頭,這些插頭通過PCB上的導(dǎo)線與其它元件相連,從而實(shí)現(xiàn)內(nèi)部芯片與外部電路的連接。同時,晶片必須與外界隔離,防止雜質(zhì)腐蝕晶片電路,從而降低電性。氧化皮和晶片表面的污染物和晶片表面的污染物會影響芯片的質(zhì)量。當(dāng)裝入時,引線連接、塑料固化前先進(jìn)行等離子清洗處理,可去除污漬。
       IC封裝中的污染物是影響封裝發(fā)展的重要因素,如何解決這些問題始終是干擾大家的難點(diǎn)。CRF等離子清洗機(jī)技術(shù)無環(huán)境污染,能有效地解決這一問題。等離子體清洗設(shè)備是利用CRF等離子清洗機(jī)活化樣片表面,除去樣品表面的污染物,同時也能改善其表面性能,提升產(chǎn)品質(zhì)量。

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