等離子清洗機(jī)不放電或者放電不穩(wěn)定，往往是等離子發(fā)生器的阻抗匹配出了狀況。等離子發(fā)生器在進(jìn)行能量傳輸時(shí)，假如反應(yīng)腔體和電極（以下簡(jiǎn)稱負(fù)載）阻抗和傳輸線的特征阻抗不相等，就會(huì)在傳輸時(shí)發(fā)生反射，有部分能量通過發(fā)熱等方式損失掉了，而不是所有能量都被等離子清洗機(jī)的負(fù)載吸收，這樣就會(huì)直接影響等離子表面處理的效果。

在高頻放電回路中，為了保證用于放電區(qū)的功率消耗保護(hù)振蕩器，常規(guī)的做法就是在高頻電源與等離子腔體、電極之間設(shè)置阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，以便按不同放電條件進(jìn)行調(diào)節(jié)，使高頻發(fā)生器的輸出阻抗與負(fù)載阻抗能夠匹配，讓等離子清洗機(jī)放電穩(wěn)定，工作效率高。

影響等離子清洗機(jī)匹配效果的幾個(gè)主要因素

等離子清洗機(jī)的匹配器，就好比是等離子發(fā)生器的伴侶，兩者要相互匹配，不可用小功率的匹配器去適應(yīng)大功率的等離子發(fā)生器，除此之外，要想等離子清洗機(jī)取得理想的匹配效果，還需注意以下幾個(gè)方面。

1.在設(shè)計(jì)等離子清洗機(jī)的反應(yīng)腔體和電極的時(shí)候，要與匹配器供應(yīng)商充分溝通相關(guān)技術(shù)參數(shù)，以滿足等離子清洗機(jī)的匹配要求；

2.等離子清洗機(jī)在安裝匹配器的時(shí)候，應(yīng)盡量靠近反應(yīng)腔體和電極，縮短連線，減少功率損耗；

3.氣體流量、真空度、處理的產(chǎn)品材質(zhì)和數(shù)量等因素都可能影響阻抗匹配，需根據(jù)實(shí)際情況做調(diào)整。